第365章 浸没式光刻机?

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  图纸上密密麻麻全是英文标注,绘制着极其复杂的机械结构图。乍一看,像是某种精密的航天器内部构造。

  站在一旁的彼得只是扫了一眼,眼珠子就差点瞪出来。他猛地扑到桌子上,颤抖着手指沿着图纸上的线条划过,嘴里不可置信地喃喃自语:

  “oh my god... Immersion?(浸没式?)”

  “但这不对……这跟我们在荷兰实验室里搞的不一样!这个液流控制系统的设计……更简洁,更合理,更高效!”

  彼得猛地抬头看向林飞羽,眼神中充满了惊恐和狂热:“boSS!这是谁设计的?这一处的光路折叠结构,解决了ASmL困扰了整整三年的像差问题!这是天才的设计!不,这是上帝的设计!”

  李副市长虽然听不懂技术细节,但看彼得这个洋专家的反应,也知道这东西不得了。

  “林先生,这到底是……”李副市长指着图纸。

  林飞羽微微一笑,手指轻轻点了点图纸右下角的那个Logo。

  那不是ASmL的标志。

  而是一个由汉字“光”字变形而成的几何图形,下面写着一行英文:Lithography Future(光刻未来)。

  “这是世界上最先进的浸没式光刻机全套设计图。”

  林飞羽语气平淡,却石破天惊:

  “这是一家科技公司——‘光刻未来’(Lithography Future),秘密研发的成果。”

  “哦,相关技术专利他们已经卖给了我。”

  “它比ASmL刚刚被烧毁的那几台原型机,还要先进整整一代。”

  “什……什么?”科技局局长感觉脑子不够用了,“光刻未来?咱们中国的公司?”

  “没错,注册在开曼,但核心技术团队是华人的。”林飞羽开始一本正经地胡说八道,“至于你们担心的知识产权问题……”

  林飞羽冷笑了一声,眼神中透着一股掌握真理的霸气:

  “李市长,各位领导。你们以为ASmL为什么那么急着造浸没式样机?”

  “其实,关于浸没式光刻的核心专利,早在03年前,就已经被‘光刻未来’在全球范围内注册完毕了。”

  “ASmL那是狗急跳墙,他们试图绕过我们的专利壁垒,强行生产。”

  “说句难听的,就算ASmL的工厂没炸,就算他们真的把那是几台样机造出来了,他们也卖不出去!因为那是侵权产品!”

  “只要他们敢商用,光刻未来就敢在全世界任何一个法院起诉他们,让他们赔得倾家荡产!”

  “轰——!”

  会议室里的人彻底被震住了。

  这剧情反转得太快了!

  原本以为林飞羽是去“偷”了ASmL的技术回来,结果现在变成了——ASmL才是小偷,而核心技术和专利,原本就掌握在中国人手里!

  只是现在被卖给了对方。

  这就完全不一样了!

  如果这技术是偷的,政府接手还有顾虑,怕引起国际纠纷。

  但如果这技术本来就是咱们拥有专利的,是ASmL侵权在先,那咱们在深圳建厂生产,就是天经地义!是拿回属于自己的东西!

  “林先生……您没开玩笑?”李副市长激动得声音都有点颤抖。

  “我这有全套光刻未来的专利证书和法律文件。”

  林飞羽对外招了招手,保镖立刻递上来另一个厚厚的文件袋。

  “这就是底气。”

  林飞羽看着李副市长,眼神坚定:

  “现在,ASmL没了,专利在我们手里,最先进的图纸(小白优化版)也在我们手里。”

  “我们不是在追赶,我们是在——领跑。”

  说到这里,林飞羽突然站起身,走到会议室墙上挂着的那幅巨大的深圳市规划图前。

  他拿起一支红色的马克笔,在观澜那片待开发的区域,画了一个巨大的圈。

  那个圈,比之前的电池厂和屏幕厂加起来还要大好几倍。

  “李市长,各位领导。”

  林飞羽转过身,声音变得低沉而充满压迫感:

  “但我今天要谈的,不仅仅是一台光刻机。”

  “如果只是造个壳子,哪怕核心技术有了,我们也还是会被人卡脖子。镜头(蔡司)、光源(cymer)、光刻胶(JSR)、掩膜版……这些上下游的命脉,依然掌握在西方和日本人手里。”

  “我们就不能只做组装厂。”

  林飞羽手中的笔重重地点在那个红圈上:

  “我要做的,是全产业链闭环。”

  “我要建的不是一个厂,而是一座城——‘光刻产业城’!”

  “什么?全产业链?!”

  在座的科技局局长和招商局领导们面面相觑,他们懂行,所以更觉得恐怖。这相当于要把ASmL、蔡司、cymer、JSR这些行业巨头的活儿,一家公司全干了?这在工业史上闻所未闻!

  “没错。”林飞羽神色狂傲,“别人干不了,但我能干。我有技术,我有钱。”

  他伸出手指,开始在那个红圈里进行详细的功能区划分,每一句话都像是一记重锤,砸在众人的心口上:

  “A区,核心总装与研发中心,我要500亩。”

  “这里是心脏。要做整机组装、双工件台调试。要求绝对防震、绝对洁净。地基要打到岩石层,旁边连重型卡车都不许过!”

  “b区,精密光学与机械加工区,我要400亩。”

  “光刻机的镜头是蔡司做的?以后就是我们做!磨玻璃需要巨大的抛光机,加工金属零件需要重型数控机床。噪音大,粉尘多,必须和A区物理隔离。”

  “c区,光源与特种气体区,我要300亩。”

  “深紫外激光器、氟气、氩气提纯。这是危险品区,必须放在下风口,还要有巨大的安全缓冲区。万一炸了(虽然不会),不能影响隔壁。”

  “d区,光刻胶与化学材料区,我要400亩。”

  “日本人垄断的光刻胶、显影液,我们自己造!这是精细化工,要有独立的污水处理和环保设施,离办公区越远越好。”

  “E区,掩膜版与配套区,200亩。”

  林飞羽一口气说完了五个工业分区,然后笔锋一转,画了一片风景优美的区域:

  “最后,F区,生活配套与专家村,我要400亩。”

  “我从欧洲挖来了彼得,以后还会挖来几千名世界顶级的科学家,包括我们自己的科学家。我不能让他们住板房。”

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